在電子封裝、汽車零部件及精密儀器制造中，灌膠工藝的可靠性直接取決于膠體與基材的界面結(jié)合強(qiáng)度。然而，金屬、塑料或陶瓷等基材表面常因氧化層、油污或分子級(jí)污染物導(dǎo)致潤(rùn)濕性差，進(jìn)而引發(fā)膠體脫粘、氣孔或分層等問(wèn)題。等離子清洗機(jī)通過(guò)物理轟擊與化學(xué)活化雙重作用，可顯著改善基材表面能，為灌膠工藝提供高附著力界面。
一、技術(shù)原理：物理轟擊與化學(xué)活化的協(xié)同效應(yīng)
等離子清洗的核心在于通過(guò)電離氣體（如氬氣、氧氣或四氟化碳）產(chǎn)生高能粒子，對(duì)基材表面進(jìn)行微觀改性，具體機(jī)制包括：
表面刻蝕與粗糙化
高能離子（能量達(dá)10-100eV）可物理轟擊基材表面，去除0.1-1μm厚的污染層，同時(shí)形成納米級(jí)凹凸結(jié)構(gòu)。化學(xué)官能團(tuán)引入
活性氧或氮自由基與基材表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成羧基（-COOH）、羥基（-OH）或氨基（-NH?）等極性基團(tuán)。靜電荷消除
等離子處理可中和基材表面電荷，避免灌膠時(shí)因靜電吸附灰塵導(dǎo)致的界面缺陷。
二、工藝參數(shù)優(yōu)化：精準(zhǔn)調(diào)控表面改性效果
等離子清洗的潤(rùn)濕性提升效果需通過(guò)多參數(shù)協(xié)同控制實(shí)現(xiàn)：
氣體類型與配比
惰性氣體（氬氣）：適用于物理刻蝕，對(duì)熱敏材料（如PI膜）無(wú)化學(xué)損傷。
反應(yīng)性氣體（氧氣/氮?dú)猓涸鰪?qiáng)化學(xué)活化效果，但需控制濃度以避免過(guò)度氧化。例如，氧氣濃度＞5%時(shí)，PP基材可能發(fā)生碳鏈斷裂。
混合氣體（Ar/O?=4:1）：兼顧刻蝕與活化，使環(huán)氧樹(shù)脂在銅基材上的剪切強(qiáng)度提升3倍。
功率與時(shí)間
功率密度需與基材耐溫性匹配。真空度與溫度
真空度＜50Pa時(shí)，等離子體密度提升，處理效率增加；但過(guò)低真空度（＜10Pa）可能導(dǎo)致氣體電離不足。溫度方面，低溫等離子（＜80℃）適用于LED芯片等熱敏元件，而高溫等離子（＞200℃）可加速化學(xué)鍵斷裂，但需配套冷卻系統(tǒng)。
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