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真空等離子清洗機在OLED領域的應用：

1. 基板清洗：OLED的基板通常是由玻璃或其他透明材料制成，表面必須非常干凈，以確保后續(xù)工藝的質量。真空等離子清洗機能夠有效地去除基板表面的有機殘留和微粒，為后續(xù)的涂層和薄膜沉積提供干凈的基底。

2. 薄膜沉積前的準備：OLED器件中，多層薄膜的沉積是關鍵。每一層薄膜的質量和界面特性都直接影響到器件的性能。等離子清洗可以在薄膜沉積前，清潔和活化表面，從而提高薄膜的附著力和均勻性。

3. 修復表面損傷：在生產過程中，基板表面可能會因為各種原因而產生微小的損傷。真空等離子清洗機不僅可以去除這些損傷表面的污染物，還可以通過其能量輸入，使表面得以修復，恢復其原有的平滑度和光學特性。

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