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故障現象：真空等離子清洗機出現報警提示

1. 故障原因：真空度過高或過低、氣體流量過大或過小、設備內部溫度過高。

2. 解決方案：調整真空度至適當范圍；調整氣體流量至適當值；檢查設備散熱系統，確保散熱良好。

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