【等離子Plasma】低氣壓等離子體發(fā)生器是一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產(chǎn)生等離子體的電源、放電室、抽真空系統(tǒng)和工作氣（或反應(yīng)氣）供給系統(tǒng)。
通常有四類(lèi)：靜態(tài)放電裝置、高壓電暈放電裝置、高頻（射頻）放電裝置（有3種類(lèi)型）和微波放電裝置。把被處理的固體表面或需要聚合膜層的基體表面置于放電環(huán)境中，由等離子體處理。
由于低氣壓等離子體為冷等離子體，當(dāng)氣壓為 133～13.3帕左右時(shí)，電子溫度高達(dá)10000開(kāi)，而氣體溫度只有300開(kāi)，既不致燒壞基體，又有足夠能量進(jìn)行表面處理。【等離子表面刻蝕】
低氣壓等離子體發(fā)生器已日益廣泛應(yīng)用于等離子體聚合、制備薄膜、刻蝕、清洗等表面處理工藝中。
成功的例子如：在半導(dǎo)體制作工藝中，采用氟里昂等離子體干腐蝕，用離子鍍法在金屬表面生成氮化鈦膜等。
