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奧坤鑫:低溫等離子體技術應用研究進展
2016.05.21
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  【奧坤鑫 OKSUN】等離子體作為物質存在的第四態不僅已為人們所認識,而且等離子體技術已進入廣泛的實際應用領域。等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現中性電。
 
  國際上將等離子體分為熱等離子體和冷等離子體。熱等離子體的電離率接近100%,電子和離子溫度相當,屬于熱平衡等離子體。如等離子體弧、火箭發動機的等離子體射流,熱核聚變等離子體。冷等離子體的電離率很低,電子溫度遠大于離子溫度,屬于非熱平衡等離子體。
 
  【等離子噴槍】國內學者將等離子體劃分成三類:高溫等離子體(熱核聚變等離子體);熱等離子體(等離子體弧、等離子體炬等);冷等離子體(低氣壓交直流、射頻、微波等離子體以及高氣壓介質阻擋放電、電暈放電、RF放電等)。而把熱等離子體和冷等離子體歸納到低溫等離子體中。從物理學的角度劃分,筆者傾向于將熱平衡態等離子體歸為一類。
 
  低溫等離子體的電離率較低,電子溫度遠高于離子溫度,離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體。低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子,比通常的化學反應所產生的活性粒子種類更多、活性更強,更易于和所接觸的材料表面發生反應,因此它們被用來對材料表面進行改性處理。與傳統的方法相比,等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優勢。【卷對卷等離子處理設備

 
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